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主要特點
● 結構模塊化設計，安裝調試時間短。
● 界面人性化設計，操作直觀簡便。
● 功能平民化設計，運行維護成本低。
● 功耗綠色設計，更符合環保理念。
● 在線檢測功能，世界領先。
三．主要技術指標
外形尺寸:6500×1300×1600 (長×寬×高;)
輸入電源:AC 220V/50HZ，功耗：5.8KW
邦定速度： 4000 UPH;
邦定精度：±50 um;
行載片點間距：>20mm。
壓縮空氣：0.4MPA～0.6MPA;
真空壓力：-80KPA～ -100KPA;
拾取晶圓：（Wafer）≤8英寸;
芯片規格：0.4～2.0mm;
用料帶寬：30mm～370mm;
